MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡詳細(xì)介紹：
始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
 明視場(chǎng)觀察 |
 新暗視場(chǎng)觀察 |
 傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察 |
 亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖 |
物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。 |
 深紫外線觀察用物鏡 |
MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能好。新開發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦。 |
 物鏡UIS2系列產(chǎn)品 |
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單，只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。 |
 明視場(chǎng)觀察 |
 暗視場(chǎng)觀察 |
 微分干涉觀察 |
 熒光觀察 |
 近紅外線觀察（左）和可見 光線觀察（右）的比較 |
 適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模塊 |
"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。一直以來，必需進(jìn)行若干個(gè)操作才能實(shí)現(xiàn)的觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要點(diǎn)擊就能順利完成。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。 |
 顯微鏡控制軟件顯示畫面 |
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動(dòng)載物臺(tái)*1等。對(duì)于數(shù)碼照相機(jī)*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實(shí)況影像時(shí)單擊需觀察的地方，快速移動(dòng)到視場(chǎng)中心、實(shí)況計(jì)量和檢測(cè)、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實(shí)現(xiàn)。 *1對(duì)應(yīng)本公司推薦的電動(dòng)載物臺(tái) *2對(duì)應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司推薦的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī) |
 傾斜觀察筒示意圖 |
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào)，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)。 |
 潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。 6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。 |
 高倍率觀察圖像示意圖 |
采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。 |
 手控開關(guān)操作部 |
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。 |
 晶圓搬送機(jī) |
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。 |
 自動(dòng)載物臺(tái) |
備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái)。通過PC控制，可以實(shí)現(xiàn)檢查、不良分析功能。 |
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